有關報載「法規嚴資源缺 廢棄處理業不如人」，環境部資源循環署表示，為打造我國資源循環產業競爭力，暢通循環網絡，並建立創新技術與制度，資源循環端多項創新措施，在制度面，包括廢清書10種循環模式、資源循環網絡、化學品租賃示範輔導，並在資源循環促進法立法導入最適可行循環技術制度等，另在執行面，於今(112)年起協助資源循環產業低碳轉型，並規劃在明(113)年提供上億元經費，鼓勵資源循環創新研發。
臺灣半導體業在全球具高市占優勢，亦是重要的戰略產業，其產出之廢棄物，可自行或委託處理外，亦得依目的事業主管機關（如經濟部或國科會）再利用管理辦法規定，循公告或與技術夥伴共同申請許可再利用。為提升產業多元化循環利用，資源循環署自108年起函頒10種定型化資源循環模式，111年參與的業者超過800家，年減廢棄物量達108萬噸。自111年起輔導有意願的業者串聯上、中、下游事業，提出回到製程或循環利用的方式，共同參與資源循環網絡計畫，112年進一步提出化學品租賃示範輔導以加強供應商負起化學品生命週期之管理，均有半導體業積極響應。資源循環署刻正研訂資源循環促進法，將納入多元化資源循環運作模式，並提升資源使用效益，導入最適可行循環技術制度，同時考量廢棄資源最小化、資源循環最大化的精神，俾拓展資源循環永續利用管道。
資源循環署為促進資源循環產業低碳轉型並鼓勵研發，112年輔導資源循環產業建立產業基線資料、提供碳排放分析、建構業者能力及媒合導入自動化、智慧化、低碳化轉型，並規劃於113年提出資源循環創新及研究的補助計畫，挹注經費徵求資源循環的創新研發，擴大補助範圍，除了過去的應回收廢棄物之外，將補助範疇增加一般及事業廢棄物，其次增加補助經費，每年從五千萬增加至一億元，最後也增列補助對象，除了既有對象外，規劃增加資源循環產業，以深化與各界的合作，強化扶植產業提升資源循環技術。