環保署監控特殊性工業區周遭空氣品質，近兩年（106~107年）監測結果顯示(如附圖)，一般空氣污染物以SO2改善幅度最大(11.9%)，其次為NO2(7.9%)、NO(7.9%)、CO(6.6%)、 PM10(5.5%)、PM2.5(5.2%)，整體呈現改善趨勢，並與鄰近環保署監測站之監測結果相近；有害空氣污染物以甲醛改善幅度最大(67%)，其次為硫酸(59%)、丙烯醛(49%)、乙腈(46%)、1,2-二氯丙烷(33%)等，皆顯示透過空氣污染管制策略，能有效改善特殊性工業區鄰近空氣品質。
環保署表示，為維護空氣品質及民眾健康，依「空氣污染防制法(下稱空污法) 」第15條及「特殊性工業區緩衝地帶及空氣品質監測設施設置標準」，我國5座特殊性工業區包括六輕工業區、臨海工業區、林園工業區、南科臺南園區及中科臺中園區，共設置35個監測站，監測項目除氣象條件及一般空氣污染物，亦依特殊性工業區所容納之工業類別監測具關鍵代表性之空氣污染物，如有機光化前驅物(54種)、有害空氣污染物(52種)、甲醛、乙醛、重金屬(7種)、酸鹼氣(8種)、硫化物等異味污染物(6種)及戴奧辛等項目。
為提升監測數據及連線品質，環保署自105年起定期辦理研商會及教育訓練，協助開發單位提升數據品質及資料傳輸技術，亦於106年起每年進行現場查核，並追蹤及複查缺失改善情形，同時搭配持續檢討、提升管理及運用系統自動化工具，確實掌握空氣品質變化，以作為管制特殊性工業區空氣污染物排放之依據。
環保署指出，107年8月1日空污法修正後，特殊性工業區若未依規定辦理空品監測記錄及申報等事項者，罰鍰上限已由500萬元提高至2,000萬元，呼籲開發單位應持續善盡環境保護義務，確實依規定辦理空氣品質監測事宜，以降低民眾疑慮。另因應空污法新規定，特殊性工業區監測數據皆已全面公開，民眾可利用空氣品質監測網（https://taqm.epa.gov.tw/taqm/tw/default.aspx）查詢自動監測即時數據，或透過空氣品質改善維護資訊網（https://air.epa.gov.tw/EnvTopics/AirQuality_4.aspx）下載品保後之歷史監測數據，以隨時留意空氣品質資訊，共同守護家園環境。