環署近年來已積極進行各項固定污染源重金屬排放之調查工作，對於砷（As）的污染源亦已開始進行調查，由於砷的來源眾多包括自然界（如火山噴發、含砷的礦石等）、商業產品（木材保存、殺蟲劑等）、食物、工廠（燃燒石化燃料、燃燒以砷化銅處理的木材，電子產業等）、藥物及其他來源等，因此環保署自94年度起已陸續進行中小型廢棄物焚化爐、燃煤發電鍋爐、燃煤汽電共生鍋爐、燒結爐、電弧爐、非鐵金屬熔煉業、半導體、光電業等之砷排放檢測調查，94年度已完成新竹科學園區半導體業15座煙道重金屬砷排氣檢測，其排放濃度範圍值為ND至8.7×10-3mg/ Nm3，95年度完成新竹科學園區光電業3座煙道重金屬砷排氣檢測，其排放濃度範圍值為5.8×10-4至1.9×10-2mg/ Nm3，檢測結果經健康風險評估，各途徑平均風險與致癌總風險值皆屬於安全範圍。
環保署指出，隨著中部科學園區之開發與廠商之進駐營運，由於製程可能使用砷化物，且日前有研究指出，中部科學園區施工中（94年）及部份產業生產後（95年）空氣中砷之濃度變得偏高。環保署即積極進行調查並分析東海大學週遭的可能污染來源，經分析比較東海大學週遭最大的差異，應是在於中科廠區的廠商進駐與量產。經清查中科已進駐廠商，篩選比對國外砷排放清冊及以使用砷化物為主要對象，初步判斷可能之來源有，2廠半導體業（茂德與華邦，製程中有砷化氫之使用）、1廠光電業（友達公司，玻璃基版含有砷化物，蝕刻作業會排放）及1家顯示玻璃製造廠（康寧公司，砷化物為該類型玻璃製程添加劑之一）。
環保署表示，為瞭解前述4家廠商之砷實際排放情形及周圍地區空氣中砷濃度偏高之狀況，環保署已於2月上中旬進行周圍地區6個點與排放管道7根次之採樣，並於3月中旬完成分析，其檢測結果為位於中科東北方之老人文康中心為5.36 ng/m3，位於中科西方之都會公園為5.24 ng/m3，位於中科東南方之永興宮為5.51 ng/m3，位於中科西南方之東海大學省政大樓為4.29 ng/m3、東大附小為3.72 ng/m3、協和派出所為3.71 ng/m3。在7根次排放管道檢測部分，分別為台灣康寧公司M01製程P101管道為3.1×10-3 mg/Nm3（2.65×10-5g/s）、友達光電PB02管道為7.5×10-4 mg/Nm3（5.2×10-6g/s）、華邦中科廠M01製程P001管道為3.2×10-3 mg/Nm3（2.4×10-5g/s）及P006管道為2.3×10-3 mg/Nm3（3.5×10-5g/s）、茂德中科廠M01製程P002管道為1.1×10-3 mg/Nm3（2.3×10-5g/s）、P008管道為5.5×10-4 mg/Nm3（8.7×10-6g/s）及P015管道為1.7×10-3 mg/Nm3（1.3×10-5g/s）。（如附圖表）
環保署指出，目前大多數國家並未針對排放管道砷排放量進行管制，僅有新加坡規定2001年1月1日起任何工業製程排放管道，砷(Arsenic, As)管制值為1 mg/Nm3（1 atm 0oC，無含氧校正標準），而我國係於「固定污染源空氣污染物排放標準」中規定，依據勞工作業環境空氣中有害物質容許濃度標準，計算各排放管道之砷排放管制標準。目前我國勞委會所訂作業環境空氣中砷容許濃度標準為：0.01mg/m3 (As)，經計算個別管道排放標準，前述7根次排放管道檢測結果，均遠低於我國管制標準及新加坡管制標準。
而在中科周圍地區空氣中砷濃度檢測結果部分，環保署表示，與95年之檢測比較：永興宮由原來31ng /m3降為5.51 ng /m3；都會公園由原來18ng /m3降為5.24 ng /m3；東海大學省政大樓原來13.4ng /m3降為4.29 ng /m3，但仍較94年檢測值高。環保署指出，目前國際間尚無國家針對環境(Ambient Air)砷化物進行管制，僅有歐盟委員會針對Ambient Air砷化物濃度，訂定2012年12月31日起之「年平均值」，目標值為6.0 ng/m3。本次6個採樣點的檢測值均能符合其目標值，惟該目標值為年平均值，而本次檢測僅為24小時之檢測值，應有長期監測值比較較具意義。
環保署表示，整個調查分析檢測結果與之前檢測之數據進行比較，中部科學園區周邊空氣中砷(As)濃度已有降低，且能符合歐盟2013年6.0 ng/m3之目標值，惟相較於國外一般地區環境大氣的檢測值仍有很大的下降空間，因此環保署將要求台中縣市環保局持續進行中部科學園區附近環境大氣之長期監測，並持續針對有可能排放砷化物之廠商加強稽查及調查，包括加強查核其砷化物使用量、化學吸附劑使用量及污染防制設備之操作情形等。另亦將要求中部科學園區籌備處督促廠商儘速導入無砷製程，促使污染源進行改善以降低砷排放，將可有效確保民眾健康。
環保署更指出，除將針對中部科學園區要求台中縣市環保局進行長期監測及稽查外，亦將同時針對新竹科學園區及南部科學園區要求新竹縣市環保局及台南縣環保局，進行園區附近環境大氣砷之長期監測及針對有可能排放砷化物之廠商加強稽查，以掌握國內科學園區廠商砷排放情形及環境大氣中砷濃度之實際狀況，有效確保民眾健康。