環保署主動對可能有土壤地下水污染的已關廠工廠進行重點調查，三年來總共針對15類高污染業別中具規模與代表性的1,200處場址的現況資料進行查核校正，實際進廠（場）調查85處，其中有29處發現有土壤地下水污染，24處待進一步查證。加上各地方環保機關的調查，屬於關廠工廠的污染場址總數已達44處，總面積則超過134公頃，約與台北市信義計畫區面積相當(143公頃)。相關場址已依法管制並要求污染行為人進行污染控制及整治，2處已經完成污染改善。
據環保署統計，面積超過10公頃的大型場址有3處(中石化前鎮廠16.84公頃（下略），中石化安順廠17、台塑前鎮廠10.8)、超過5公頃的有5處(RCA桃園廠8、台氯頭份廠5、國泰塑膠苗栗廠8.2、中油苓雅寮儲運所9.99、中石化高雄廠7.1)、超過1公頃者的21處。依污染類型區分，則以基本化學工業8處，總面積61公頃為最大宗；金屬基本工業的鋼鐵業共10處，面積20公頃次之；石化原料製造4處，面積15.6公頃；電子廠3處，面積10公頃；大型油品儲槽區1處面積9.99公頃。其餘為農藥工廠3處、木材防腐工廠1處、皮革製造2處、金屬表面處理4處、塗料染料及顏料製造業7處、廢棄物處理1處。
環保署表示，從實際調查的經驗歸納，造成污染的原因包括：製程用水及放流水的放流排放、儲槽與管線的洩漏、廢棄物堆棧放置或不當掩埋、空氣污染落塵、意外洩漏等。早期的工廠，由於環保意識缺乏，環保法規不周全，以及管理不善，污染物廠區就地處置之情形並不少見。而關廠措施不當，導致原料、成品或半成品、廢水及廢棄物四處散播，而擴大污染範圍與程度，更是造成關廠工廠污染的重要原因。
環保署表示，過去工廠大多都設在市郊，由於都市的發展與工業轉型，許多工廠遷移或關廠，這些位於精華地段的大面積土地成為都市更新的重要資源。而在土地開發前，如未妥善調查並藉機進行污染整治，開發行為將造成污染的擴散，也會對民眾健康及附近環境安全造成威脅，因此環保署將加速推動廢棄工廠土地污染的調查與整治。