業者減少硫氧化物、氮氧化物及揮發性有機物等污染物排放量有利可圖。環保署已於97年3月7日發布實施「公私場所固定污染源空氣污染防制設備空氣污染防制費減免辦法」，對裝設及有效操作固定污染源空氣污染防制設備的業者，減免固定污染源空氣污染防制費，最高可獲得30%減免額度。
環保署指出，減免項目主要有兩大項，一為防制設備購置成本的減免，主要基於考量業者新增設防制成本的負擔，降低業者投資防制設備支出，提高業者裝設污染防制設備意願；另一為防制設備操作維護耗材費用的減免，進而鼓勵業者維持防制設備的最佳操作狀況。
業者新設硫氧化物、氮氧化物或揮發性有機物污染防制設備，便可向當地環保局提出減免空氣污染防制費申請，最高可獲得購置成本的30%減免額度，若是在91年後才設置的既存揮發性有機物防制設備，也有15%減免額度；另外，如果業者不申請購置成本減免，或已取得購置成本減免額度5年以後，亦可提出耗材減免申請。據環保署評估，本辦法施行後，預計可減少硫氧化物9,000公噸、氮氧化物15,000公噸、揮發性有機物29,000公噸等空氣污染物排放。
環保署表示，經濟誘因可鼓勵業者積極投資做好空氣污染防制工作，減少空氣污染物排放量及改善空氣品質，透過政府提供減免空氣污染防制費的實質幫助，減少業者在空氣污染防制費上支出及降低營運成本，帶動國內污染制設備相關產業發展，增強產業競爭力，亦有助於我國經濟發展。